अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम यूनिट कैरेक्टर और वर्गीकृत

10-5pa से ऊपर चलने वाली अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम इकाइयों में प्रसार पंप, आणविक पंप अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम इकाई और तेल मुक्त अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम इकाई शामिल है। इकाई में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:

मुख्य पंप की अधिकतम वैक्यूम डिग्री 10-7 ~ 10-8pa से अधिक है।

(2) 200 ~ 450 ℃ बेकिंग के उच्च तापमान सहन कर सकते हैं;

मुख्य पंप की रिटर्न गैस का आंशिक दबाव कम है।

उच्च चयन के साथ मुख्य पंप के लिए, यह पर्याप्त रूप से बड़े सहायक पंप से सुसज्जित होगा।

(1) प्रसार पंप की अति उच्च वैक्यूम इकाई

मुख्य पंप के रूप में प्रसार पंप के साथ अति उच्च वैक्यूम इकाइयों का अंतिम वैक्यूम 10-7 ~ 10-8pa है।

प्रसार पंप के सामने चरण से गैस के रिवर्स प्रसार के प्रभाव को कम करने और अंतिम वैक्यूम डिग्री पर यांत्रिक पंप तेल के रिवर्स प्रसार को कम करने के लिए, निचले पंपिंग गति के साथ एक प्रसार पंप का उपयोग आगे के चरण में किया जा सकता है संपीड़न अनुपात और रिवर्स प्रसार को कम करने के लिए प्रसार पंप। यदि एक टाइटेनियम ऊष्मायन जाल प्रसार पंप के इनलेट में जोड़ा जाता है, तो प्रसार पंप से नाइट्रोजन आंशिक दबाव को और कम किया जा सकता है, और 10-11pa का एक सुपर-उच्च वैक्यूम प्राप्त किया जा सकता है।

(2) परमाणु पंप की अति उच्च वैक्यूम इकाई

अल्ट्रा-हाई वैक्यूम इकाइयों का अधिकतम वैक्यूम, जो मुख्य रूप से आणविक पंप का उपयोग करता है, 10-8pa है, जिसे त्वरित प्रारंभ और कम तेल प्रदूषण द्वारा दर्शाया जाता है।

इकाई में तरल नाइट्रोजन ठंडा जाल जोड़कर पंपिंग की गति में वृद्धि की जा सकती है। यांत्रिक पंप के आउटलेट को तेल वाष्प को सिस्टम में प्रवेश करने से रोकने के लिए पानी के ठंडे जाल के साथ प्रदान किया जाता है।

(3) तेल मुक्त अल्ट्रा-उच्च वैक्यूम इकाई

वैक्यूम इकाई जो काम करने वाले तरल बनाने के लिए तेल का उपयोग नहीं करती है और कार्बनिक पदार्थों के साथ सील नहीं करती है उसे तेल के बिना सुपर-उच्च वैक्यूम इकाई कहा जाता है। आमतौर पर इस्तेमाल किए जाने वाले मुख्य पंपों में क्रायोजेनिक पंप, टाइटेनियम पंप, स्पटरिंग आयन पंप इत्यादि शामिल हैं। तेल वैक्यूम इकाई की तुलना में, इसमें निम्नलिखित फायदे हैं:

स्वच्छ वैक्यूम और प्रदूषण स्रोत प्राप्त नहीं किया जा सकता है।

जब तेल मुक्त वैक्यूम पंप शुरू होता है, तो प्री-पंप अलग किया जा सकता है।

अगर वेंटिलेशन अचानक बंद हो जाता है, तो सिस्टम प्रदूषित नहीं होगा;

इसमें कोई तेल नहीं, कोई शोर नहीं है और कोई कंपन नहीं है, जो कामकाजी माहौल में सुधार करती है।

टर्मिनल वैक्यूम डिग्री उच्च है, पंपिंग की गति अधिक है, और पंपिंग समय छोटा है।